本文件規(guī)定了等離子化學(xué)氣相沉積法石英玻璃碇的分級(jí)、要求、檢驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存。本文件適用于以四氯化硅等無氫含硅化合物為原料，在等離子高溫火焰中氣相化學(xué)反應(yīng)沉積而成的石英玻璃碇。