本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了采用電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜（ICP-AES）法測定半導(dǎo)體拋光液用硅溶膠中雜質(zhì)元素含量的方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）中拋光液用的各種硅溶膠。
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