本標準規(guī)定了透射電鏡(TEM)在很大放大倍率范圍內(nèi)所記錄的圖像的校準方法。用于校準的標準物質(zhì)具有周期性結(jié)構(gòu),例如衍射光柵復(fù)型、半導(dǎo)體的超點陣結(jié)構(gòu)或X射線分析的分光晶體以及碳、金或硅的晶體晶格像。
本標準適用于記錄在照相膠片上或成像板上或數(shù)字相機內(nèi)置傳感器采集的 TEM圖像的放大倍率。本標準也可用于校準標尺,但不適用于專用的臨界尺寸測長透射電鏡(CD-TEM)和掃描透射電鏡(STEM)。
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