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硅管制作工安全操作規(guī)程

  
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1.篩硅粉,硅化鎂及硅塊的粉碎和加料,必須戴防塵口罩進(jìn)行。
  2.硅化鎂與酸堿類(lèi)應(yīng)嚴(yán)格隔離,不準(zhǔn)靠近。
  3.多晶硅生產(chǎn)反應(yīng)爐凈化系統(tǒng)及分解爐要保證正常生產(chǎn),室內(nèi)嚴(yán)禁吸煙。
  4.操作硫酸、硝酸、鹽酸、氫氟酸必須穿耐酸鞋,戴耐酸手套和穿防護(hù)服以及帶口罩。
  5.操作液氨時(shí),必須配戴防毒面具。
  6.多晶硅,單晶硅設(shè)備及管道,在開(kāi)爐前及生產(chǎn)中應(yīng)嚴(yán)格進(jìn)行檢查和維修,保證其密閉性,不得有泄漏現(xiàn)象。
  7.多晶硅生產(chǎn)中,嚴(yán)防硅烷氣體進(jìn)入空氣。在停爐時(shí),分解爐內(nèi)的硅烷氣體必須充分分解15分鐘以上,再降壓停爐。在保證分解爐內(nèi)無(wú)硅烷后,再打開(kāi)爐門(mén)。


      ——摘自《機(jī)械工人安全技術(shù)操作規(guī)程》
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