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基于HAZOP的集成電路安全生產(chǎn)風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估

文檔作者：楊振，李世軍，劉忠哲文檔來(lái)源：北京智芯微電子科技有限公司		點(diǎn) 擊數(shù)：	更新時(shí)間： 2025年09月05日
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電工技術(shù)系統(tǒng)解決方案
基于HAZOP的集成電 風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估
楊振，李世軍，劉忠哲
(北京智芯微電子科技有限公司，北京100096)
摘 要：文章采用HAZOP風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估方法,對(duì)集成電路生產(chǎn)過(guò)程中的安全性進(jìn)行評(píng)估。重點(diǎn)介紹評(píng)估過(guò)程,并提出注
事項(xiàng)。
關(guān)鍵詞：HAZOP；集成電路；安全生產(chǎn)；風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估
HAZOP-based Risk Assessment of Safety Production of Integrated Circuit
YANG Zhen, LI SHijun, LIU Zhongzhe
(Beijing Smartchip Microelectronics Technology Co. , Ltd. , Beijing 100096 , China)
Abstract： ThearticleusestheHAZOPriskassessmentmethodtoevaluatethesafetyoftheintegratedcircuitgeneration
processHFocusontheevaluationprocessandproposeconsiderationsH
Key words: HAZOP&amp;amp; integrated circuit； safety production；
0引言
通常情況下， 電路進(jìn)行生產(chǎn)是一個(gè)極為 的
工藝，其中涵蓋了 、去膠等多道工序，每一道工序都
需要進(jìn)行 ，并且需要 多化學(xué)物品。 ,
電力進(jìn)行生產(chǎn)的過(guò)程中， 存在著較大的風(fēng)
險(xiǎn)。無(wú)論是在生產(chǎn)過(guò)程中所使用的硬件設(shè)備，還是相應(yīng)的
學(xué)藥品，都需要對(duì)其進(jìn)行綜合式的評(píng)估。與此同時(shí)
電路進(jìn)行生產(chǎn)過(guò)程中，所要求的 設(shè)備
的輔助設(shè)備都需要 較高的自動(dòng) ，出現(xiàn)任何形
式的偏差都會(huì)產(chǎn)生嚴(yán)重的后果。
1常用的安全生產(chǎn)評(píng)估方法
安全生產(chǎn)評(píng)估主要指從安全的 出發(fā)， 個(gè)系統(tǒng)
存在的 進(jìn)行有效 ％與此同時(shí)
結(jié)果進(jìn)行系統(tǒng)的評(píng)價(jià)，能夠?qū)Π踩a(chǎn)起到指 :
。對(duì)于 來(lái)說(shuō)，進(jìn)行 的安全評(píng)估主要是從五個(gè)方
為施工人員、機(jī)器、施工材料、施工方法，
施工環(huán)境。 能夠引發(fā)事故的 進(jìn)行詳細(xì)分析，
同時(shí)對(duì)能夠 的 措施進(jìn)行討論，最后還需
要對(duì)一些不可預(yù)料的 進(jìn)行 ％
截止到目前，安全 估 類繁多，其中包括
按 類、按定性分類 按邏輯方式分類等。對(duì)
于每 不同的 類 是 多的 且每一
估的 都 其自身的特點(diǎn)。就目前情況來(lái)看，
較為廣泛的 了 HAZOP、SCL、PHA、
FMEA、ETA、FTA、CAM 等。
的HAZOP 可以稱之為危險(xiǎn)性和操作
收稿日期：201-051
riskassessment
性研究E %在生產(chǎn)過(guò)程中，其能夠?qū)に嚑顟B(tài)所出現(xiàn)的偏差
變化進(jìn)行查找，隨后進(jìn)行原 ,并且找出
同時(shí)預(yù)測(cè)所能夠出現(xiàn)的一系列結(jié)果％ 的根本目的是為
了能夠更好地對(duì)安全性還 性進(jìn)行全面的 ％其不僅
能夠 一 的偏 設(shè) 偏 進(jìn)行 效 !還能夠找
出原 ％目前HAZOP 國(guó)家安監(jiān) 可
并且大 。對(duì)于集成電路生產(chǎn)過(guò)程中的 性 多
樣性，采用HAZOP 常好的匹配性％
2基于HAZOP風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估過(guò)程
生產(chǎn)進(jìn)行 HAZOP 估的過(guò) 中!需要 全
的生產(chǎn)過(guò) 進(jìn)行系統(tǒng)、 全 的 !不能 過(guò) 一個(gè)偏
設(shè)計(jì)的意圖， 其出現(xiàn)的原 產(chǎn)生的后果，從
的 措施，大體可以分為以下幾個(gè)步驟25* %
(1) 按照生產(chǎn)過(guò)程中所需要運(yùn)用到的設(shè)備 原料對(duì)
生產(chǎn)過(guò)程進(jìn)行劃分，將其劃分為若干個(gè)節(jié)點(diǎn)，隨 于每
一個(gè)節(jié)點(diǎn)進(jìn)行詳細(xì)的討論％
(2) 按照每一個(gè)節(jié)點(diǎn)，將HAZOP引導(dǎo)詞和生產(chǎn)參數(shù)
進(jìn)行有效的結(jié)合，對(duì)可能出現(xiàn)的一系列偏差進(jìn)行假設(shè)，同
時(shí)對(duì)有可能出現(xiàn)失誤的模式進(jìn)行分析％ HAZOP引導(dǎo)詞如
1 ,可能出現(xiàn)的 模式 2%
表1 HAZOP引導(dǎo)詞
Tab. 1 HAZOP guide words
引出現(xiàn)的偏離
More than 在系統(tǒng)中，有較多不潔凈的物質(zhì)存在
Pat of 存在相應(yīng)的組建缺失等現(xiàn)象
Less of 與實(shí)際情況相比較，溫度等參數(shù)較低
Reverse 出現(xiàn)了倒流的現(xiàn)象
None, No, Not 有行流動(dòng)
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系統(tǒng)解決方案電工技術(shù)
表2可能出現(xiàn)的失誤模式
Tab2 Potentialfailurepaterns
引導(dǎo)詞
None，No，Not Part of Less of Reverse More than
能量無(wú) / 不足/ /
液位無(wú) / 低/ /
反應(yīng)無(wú) 不能充分反應(yīng)速率較低逆向反應(yīng)/
混合無(wú) 濃度出錯(cuò)合/ 存在污染
壓力/ 較低/ /
流量無(wú)/ 較低向存在污染
(3) 對(duì)于 一 模式都需要對(duì)其出現(xiàn)的原因進(jìn)
行詳細(xì) ，其中 、 人為等 的分
析。
(4) 對(duì)每一 模式進(jìn)行評(píng)估，估算出其可能會(huì)出
現(xiàn)的結(jié)果 的 ％
(5) 模式進(jìn)行評(píng)估的過(guò)程中，需要注意的是，
不僅要對(duì)所存在的 出現(xiàn)的結(jié)果進(jìn)行分析，同時(shí)還
需要對(duì)安全管控的措施進(jìn)行詳細(xì)的探討，其中 設(shè)立安
全警 過(guò)壓保護(hù)等。
(6) 前面五個(gè)步驟后，還需要對(duì)每一個(gè)安全失
效模式進(jìn)行定量的。在進(jìn)行定量 的過(guò) 中，常
常會(huì)從以下三個(gè) 來(lái)進(jìn)行考慮， 為偏 出現(xiàn)事
故的嚴(yán)重性(S)以及出現(xiàn)偏離的 (F)還有出現(xiàn) 的幾
率(P)。對(duì)這三個(gè)參數(shù)進(jìn)行整理，從而計(jì)算出其風(fēng)險(xiǎn)等級(jí)
R = SXFXP%
(7) 按 等級(jí)， 替代相應(yīng)的風(fēng)險(xiǎn)因素，
從而使得 等級(jí)降至最低。
3使用HAZOP方法注意事項(xiàng)
使用HAZOP方法進(jìn)行安全風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估時(shí)候，需要注
意以下幾個(gè) ％
(1)在進(jìn)行安全風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估的過(guò)程中，需要建立5?7人
(上接第115頁(yè))
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的設(shè)計(jì)小組，其中 系統(tǒng)的設(shè)計(jì)者以及相應(yīng)的專家，從
為后續(xù)的 提供 的 ％
(2) 需要 的目的 范圍。 大多數(shù)情況
下，安全 估主要是為了能夠更好地 源進(jìn)行查
找，從而能夠確保整個(gè)系統(tǒng)的安全運(yùn)行。
(3) 需要 的資料進(jìn)行有效 ，其中包括設(shè)計(jì)
等。
(4) 在對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行評(píng)估的過(guò)程中，需要運(yùn)用多種方式
的 ，從 小組 的每一 員的智慧進(jìn)行開(kāi)發(fā),
充分提出 意見(jiàn)。
(5) 在絕大多數(shù)情況下， HZAOP 進(jìn)行系統(tǒng)
的安全 估，并不能夠?qū)θ康?進(jìn)行 ，對(duì)于
特殊意義的 ，需要 特點(diǎn)的評(píng)
估 進(jìn)行評(píng)估。
4結(jié)語(yǔ)
在集成電路生產(chǎn)中， HAZOP 能夠完整地對(duì)
個(gè)系統(tǒng)進(jìn)行安全 ，不僅 性 ，而且還包括
量評(píng)估。除此之外，對(duì)于 的 偏差，該
也 好的 性， 于降低集成電路生產(chǎn)風(fēng)險(xiǎn)。
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